لوحة كأس الامتصاص الخزفي أوكسالومينا هي منتج ثوري في مجال أنظمة المعالجة الدقيقة. وهي مصنوعة من سيراميك الألمنيوم -ألفا (α-Al₂O₃) بنقاء ≥99.9 ٪، جنبا إلى جنب مع هيكل مسامي هندسي لتحقيق التوزيع الأمثل للفراغ. بالمقارنة مع أكواب امتصاص المعادن أو البوليمر التقليدية، فإن هذا المحلول السيراميكي يزيل تماما خطر تلوث الجسيمات، في حين أنه قادر على تحمل درجات الحرارة القصوى (1750 درجة مئوية تشغيل مستمر) والبيئات المسببة للتآكل. تضمن بنيتها المجهرية الفريدة (2-5 ميكرومتر حجم المسام المنتظم، 3.89g/سم مكعب الكثافة) تسطحاً دون ميكرون (خشنة السطح ≤0.1μm)، مما يجعلها منصة الكأس المهنية الوحيدة التي يمكنها التعامل مع رقائق أشباه الموصلات 300 ملم بدقة شفط ±0.1μm.
1. اختراق في أداء المواد
الاستقرار الحراري: لا يوجد تشوه في دورات الصدمة الحرارية 800 درجة مئوية ، وعمر خدمة أطول 5 مرات من أكواب شفط السبائك (بيئة عملية درجة الحرارة العالية).
المقاومة الكيميائية: فقدان الوزن لمدة عام واحد من 30 ٪ من غمر حمض الكبريتيك أقل من 0.01 جرام ، ومناسبة لعملية التشغيل بالكهرباء للبطارية وعملية ترسيب البخار الكيميائي.
أداء العزل: تصل قوة حقل الانهيار إلى 40 كيلو فولت/مم ، مما يضمن تشغيل آمن في غرفة حفر البلازما.
2. ابتكار التصميم الهندسي
التحكم في المسامية: يتم تحقيق مسامية بنسبة 40 ٪ من خلال عملية صب حقن الهلام ، ويمنع بنية جدار المسام 1-3μm الأجزاء الرقيقة (≤50μm) من الامتزاز والتشوه.
الهندسة المعمارية الذكية: مستشعر درجة الحرارة المدمج يدعم الإدارة الحرارية في الوقت الفعلي من -196 ℃ إلى بيئة درجة حرارة عالية للغاية.
English
中文简体
русский
Español
Português
日本語
한국어